SiC 碳化硅承载盘
产品特性
我公司提供的碳化硅盘皆采用日本厂商独家技术生产的基盘，具有优异的耐热性、耐磨性、耐腐蚀性。可满足广大客户的高规格需求。
| 机型 | 尺寸 | 适用机器品牌 |
| PVD | 4″*5/4″*7 | 北方华创、AMAC |
| ICP | 4″*7/4*8/4″9 | 北方华创、ULVAC，Oxford |
| RTP/RTA | 2寸x16 | 技鼎、钜安 |
| RTP/RTA | 4寸x4 | 技鼎、钜安 |
上海晶泰光电科技有限公司 制程耗材产品
我公司提供的碳化硅盘皆采用日本厂商独家技术生产的基盘，具有优异的耐热性、耐磨性、耐腐蚀性。可满足广大客户的高规格需求。
| 机型 | 尺寸 | 适用机器品牌 |
| PVD | 4″*5/4″*7 | 北方华创、AMAC |
| ICP | 4″*7/4*8/4″9 | 北方华创、ULVAC，Oxford |
| RTP/RTA | 2寸x16 | 技鼎、钜安 |
| RTP/RTA | 4寸x4 | 技鼎、钜安 |
上海晶泰光电科技有限公司 制程耗材产品