ITO靶材
产品特性
本公司提供的ITO品种齐全，性能稳定，纯净度高，可满足高规则制程要求
- ITO小颗粒，可应用于蒸镀制备电磁屏蔽材料；
- RPD专用ITO靶，可应用于RPD蒸镀制备透明导电膜；
- ITO 旋转溅射靶，真空磁控溅射制备ITO导电玻璃及柔性ITO导电膜。
| 产品型号 | 化学式 | 外观 | 纯度 | 尺寸（mm） | 晶粒度 | 相对密度 |
| ITO小颗粒 | In2O3/SnO2 | 绿色块状陶瓷 | ≥99.99% | 25*7/25*10 | 5~15µm | 60±2% |
| RPD专用靶 | In2O3/SnO2 | 绿色块状陶瓷 | ≥99.99% | 20*20 | 5~15µm | 60±2% |
| 旋转溅射靶 | In2O3/SnO2 | 黑色管状陶瓷 | ≥99.99% | 300*10/定制尺寸 | 5~15µm | ≥99% |
上海晶泰光电科技有限公司 制程耗材产品